Varian分子泵維修的方法有哪些?知道的請回答
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  • Varian分子泵為無油、無污染型,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置工作而不會對材料施加應力。

  • varian分子泵的應用范圍包括高能物理和研究、納米技術、質譜技術、工業(yè)真空加工和半導體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的zhuan用泵。

  • 油已經積碳,堵塞了油路,varian分子泵油無法起到很好的潤滑作用,造成泵體溫度過高,varian分子泵的使用不當,所以平時應注意varian分子泵油的正確使用。varian分子泵油在泵體內擔負著潤滑、密封、和冷卻的作用。

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