分子泵的維護(hù)方法有哪些?
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  • 軸承、減震維護(hù) 隨著分子泵使用時(shí)間延長(zhǎng),分子泵軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中受到的磨損越來(lái)越嚴(yán)重,減震系統(tǒng)的減震能力越來(lái)越差,到一定程度后必須進(jìn)行更換,否則可能出現(xiàn)更大程度的損壞。

  • 常規(guī)運(yùn)行中,分子泵一年內(nèi)運(yùn)行時(shí)間少于4000小時(shí)的,一年更換一次;一年內(nèi)運(yùn)行時(shí)間多于4000小時(shí)的,每運(yùn)行4000小時(shí)必須換油一次。

  • 分子泵如果污染嚴(yán)重,則必須完全拆開(kāi),由*業(yè)技術(shù)人員處理。嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)和真空性能下降很多,甚至長(zhǎng)時(shí)間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時(shí)應(yīng)對(duì)泵進(jìn)行清洗。

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