樓主請問:維修Edwards真空分子泵維修要注意什么?
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  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,Edwards真空分子泵維修出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉,系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。

  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。

  • Edwards真空分子泵維修的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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