渦輪分子泵故障處理
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  • 渦輪分子泵故障處理主要包括以下幾個(gè)方面:1.極限真空度低的處理方法。當(dāng)發(fā)現(xiàn)極限真空度過(guò)低時(shí),首先要檢查前級(jí)泵的匹配情況和抽氣量是否充足;其次要查找系統(tǒng)是否存在漏氣現(xiàn)象并進(jìn)行消除操作;還需要對(duì)渦輪分子泵進(jìn)行烘烤除氣的處理(溫度不應(yīng)高于150℃)。如果以上措施都無(wú)效的話就需要考慮更換新的設(shè)備了。此外也要注意在使用過(guò)程中要避免光照或者熱源的影響導(dǎo)致溫度升高從而降低工作效率以及損壞設(shè)備等問(wèn)題發(fā)生哦!2.泵體及轉(zhuǎn)子發(fā)熱、葉片變形的處理方法為避免在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)或者在必要時(shí)使用隔磁材料來(lái)降低影響程度,當(dāng)然啦也要記得定期檢查水冷或風(fēng)冷系統(tǒng)的運(yùn)行狀況是否正常,如果發(fā)現(xiàn)異常就要及時(shí)進(jìn)行維修或更換相關(guān)部件才行。

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