ULVAC真空泵維修保養(yǎng)拆解操作指南一、準備工作1. 安全防護:佩戴防油手套、護目鏡及防靜電手環(huán),準備工具套裝2. 系統(tǒng)泄壓:切斷電源后,保持泵體自然冷卻至常溫(約需4-6小時)3. 油路處理:使用接油裝置回收舊真空油,避免污染環(huán)境二、拆解流程1. 主體分離:按順序拆卸進氣濾網(wǎng)(注意密封圈保存)、排氣閥組件2. 轉(zhuǎn)子拆卸:使用熱風對泵體均勻加熱至80℃后拆解轉(zhuǎn)子組(溫差法)3. 腔體分解:按十字交叉順序松開腔體螺栓,檢查腔壁劃痕深度(應<0.02mm)4. 軸承檢測:使用千分表測量軸承游隙(標準值<0.05mm),記錄磨損情況三、關鍵部件保養(yǎng)1. 油霧分離器:超聲波清洗(40kHz,60℃)后檢測壓差(應<15kPa)2. 密封系統(tǒng):更換全部O型圈(優(yōu)先選用氟橡膠材質(zhì)),密封脂涂抹量控制在0.3mm厚度3. 旋片處理:測量旋片長度磨損(允許公差±0.01mm),端面研磨至Ra0.4μm四、回裝注意事項1. 扭矩控制:腔體螺栓按對角順序分三次緊固(終扭距28N·m±10%)2. 動平衡測試:轉(zhuǎn)子組裝配后需做G2.5級動平衡校驗3. 真空測試:空載運行30分鐘后檢測極限真空度(應達5×10?3P別)五、維保周期建議連續(xù)運行環(huán)境下:每2000小時更換真空油及濾芯每5000小時進行軸承潤滑脂補充每年進鎮(zhèn)閥校準及泄漏率檢測重要提示:涉及磁懸浮軸承或分子泵組件時,必須使用原廠校準設備?;匮b后需進行48小時磨合運行(階梯式升壓),并記錄振動值(應<2.5mm/s)。建議保留拆解過程影像記錄以便追溯。
潽拓光電:分子泵啟動壓力是多少
分子泵啟動壓力是一個復雜而多變的問題,它受到多種因素的共同影響。以下是對分子泵的啟動壓力的詳細分析: 通常而言,大多數(shù)應用場景下的分子泵需要在前級泵(如機械泵或羅茨泵)將系統(tǒng).. 全文
Edwards真空分子泵的維修方法有哪些? 有懂行的嗎?
真空度很好的情況下,Edwards真空分子泵油為何會返到前級管道? 原因:油池裂開或密封不良 解決方法:檢查油池 全文
請問:進口萊寶分子泵如何維修? 有誰可以回答一下嗎?
進口萊寶分子泵涵蓋各應用領域如:工業(yè)應用、PET擠出機脫氣、電池烤箱、吸塑機械、包裝機械、實驗室、半導體、線路板、光伏太陽能、平板顯示等; 全文
愛德華分子泵維修維修有哪些是需要注意的? 急!急!急!
愛德華分子泵維修不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵 全文
六安門窗定制的如何驗收?細節(jié)有哪些?
門窗工程驗收的標準:A、門窗推拉順滑,表面平整光潔,無嚴重劃痕、型材變形、色差現(xiàn)象。B、五金配件齊全.....
六安門窗定制的如何驗收?細節(jié)有哪些?
檢查門窗的使用驗收:A、門窗的開啟使用檢查,包括門窗開閉是否平穩(wěn)和門窗鎖緊后是否有異常晃動。B、關閉.....
六安門窗定制的如何驗收?細節(jié)有哪些?
1、安裝好的鋁合金門窗應該關閉嚴密,間隙均勻;門窗扇與框或與相鄰扇的立邊平行度偏差不應超過2毫米,開.....
六安塑鋼門窗的驗收標準和注意事項有哪些?
檢查門窗的使用驗收:A、門窗的開啟使用檢查,包括門窗開閉是否平穩(wěn)和門窗鎖緊后是否有異?;蝿印、關閉.....
六安塑鋼門窗的驗收標準和注意事項有哪些?
1、陽臺鋁合金窗的立框和橫框一定要牢固地固定在陽臺護欄和陽臺頂部,一般用射釘或拉鉚釘固定在混凝土內(nèi),.....
六安塑鋼門窗的驗收標準和注意事項有哪些?
門窗工程驗收的標準:A、門窗推拉順滑,表面平整光潔,無嚴重劃痕、型材變形、色差現(xiàn)象。B、五金配件齊全.....
安徽門窗廠定制驗收的標準是什么?
門窗驗收最重要的一條就是:必須安裝牢固,符合規(guī)范的標準,隔音、防水、節(jié)能、安全等功能才能達到最優(yōu)質(zhì)的.....
安徽門窗廠定制驗收的標準是什么?
門窗工程關乎居家的通風、采光、安全等各個方面,驗收自然不能夠馬虎,門窗工程涉及多種材質(zhì)和類型,門窗驗.....
安徽門窗廠定制驗收的標準是什么?
檢查門窗的使用驗收:A、門窗的開啟使用檢查,包括門窗開閉是否平穩(wěn)和門窗鎖緊后是否有異常晃動。B、關閉.....
安徽塑鋼門窗工程的驗收標準和細節(jié)要注意什么?
門窗工程關乎居家的通風、采光、安全等各個方面,驗收自然不能夠馬虎,門窗工程涉及多種材質(zhì)和類型,門窗驗.....
安徽塑鋼門窗工程的驗收標準和細節(jié)要注意什么?
檢查門窗的使用驗收:A、門窗的開啟使用檢查,包括門窗開閉是否平穩(wěn)和門窗鎖緊后是否有異常晃動。B、關閉.....
安徽塑鋼門窗工程的驗收標準和細節(jié)要注意什么?
1、陽臺鋁合金窗的立框和橫框一定要牢固地固定在陽臺護欄和陽臺頂部,一般用射釘或拉鉚釘固定在混凝土內(nèi),.....