ulvac真空泵維修保養(yǎng)拆解
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  • ULVAC真空泵維修保養(yǎng)拆解操作指南一、準備工作1. 安全防護:佩戴防油手套、護目鏡及防靜電手環(huán),準備工具套裝2. 系統(tǒng)泄壓:切斷電源后,保持泵體自然冷卻至常溫(約需4-6小時)3. 油路處理:使用接油裝置回收舊真空油,避免污染環(huán)境二、拆解流程1. 主體分離:按順序拆卸進氣濾網(wǎng)(注意密封圈保存)、排氣閥組件2. 轉(zhuǎn)子拆卸:使用熱風對泵體均勻加熱至80℃后拆解轉(zhuǎn)子組(溫差法)3. 腔體分解:按十字交叉順序松開腔體螺栓,檢查腔壁劃痕深度(應<0.02mm)4. 軸承檢測:使用千分表測量軸承游隙(標準值<0.05mm),記錄磨損情況三、關鍵部件保養(yǎng)1. 油霧分離器:超聲波清洗(40kHz,60℃)后檢測壓差(應<15kPa)2. 密封系統(tǒng):更換全部O型圈(優(yōu)先選用氟橡膠材質(zhì)),密封脂涂抹量控制在0.3mm厚度3. 旋片處理:測量旋片長度磨損(允許公差±0.01mm),端面研磨至Ra0.4μm四、回裝注意事項1. 扭矩控制:腔體螺栓按對角順序分三次緊固(終扭距28N·m±10%)2. 動平衡測試:轉(zhuǎn)子組裝配后需做G2.5級動平衡校驗3. 真空測試:空載運行30分鐘后檢測極限真空度(應達5×10?3P別)五、維保周期建議連續(xù)運行環(huán)境下:每2000小時更換真空油及濾芯每5000小時進行軸承潤滑脂補充每年進鎮(zhèn)閥校準及泄漏率檢測重要提示:涉及磁懸浮軸承或分子泵組件時,必須使用原廠校準設備?;匮b后需進行48小時磨合運行(階梯式升壓),并記錄振動值(應<2.5mm/s)。建議保留拆解過程影像記錄以便追溯。

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