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不同氣體對皮拉尼真空計的影響
不同氣體對皮拉尼真空計的影響因為熱量的傳遞不僅僅與壓強有相互關(guān)系,同時與氣體的摩爾量和分子結(jié)構(gòu)有關(guān)系。不同的氣體會導(dǎo)致壓力測量時得出不同的結(jié)果。
在一般情況下,當(dāng)現(xiàn)有的氣體的原子或者分子越大,inficon英??嫡婵沼嫳pB(yǎng)價格是多少,熱傳導(dǎo)的能力或者效率越低。
在壓力測量中,除少數(shù)直接測量外,絕大多數(shù)是間接測量。它首先在被測氣體中引起某些物理現(xiàn)象,然后在此過程中測量與壓力有關(guān)的物理量,然后嘗試確定壓力值。這是真空測量的特點,也會引起一些問題。
皮拉尼真空計用范圍
化學(xué)工業(yè)
電子與微電子領(lǐng)域
氣相沉積
電子束焊接
真空冶金
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在真空表中受大氣作用力引起應(yīng)變元件的是彈性金屬管,在膜盒真空計中是彈性薄膜。膜盒真空計的結(jié)構(gòu)原理如圖 4-2 所示。膜盒真空計中,有一個由應(yīng)變膜和玻璃外殼構(gòu)成的一個密封盒,盒內(nèi)的氣體壓力已預(yù)先抽至0.1Pa 以下,作為參考壓力,指針與聯(lián)動機構(gòu)安放在玻殼內(nèi)。當(dāng)待測壓力變化時,應(yīng)變膜上感受到不同的力,這樣就能讀出不同的讀數(shù)。
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中,測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
由于這種真空計的參考壓力是0.1Pa,這就為測量較低的壓力提供了可能。其測量范圍為0~10Pa。根據(jù)其不同的型號,可細(xì)分為0~2500Pa0~2.5X10'Pa和0~105Pa。這種真空計不受大氣壓值的影響,一般精度為滿刻度值的士1%,可廣泛地用于激光器件的研制和生產(chǎn)單位。
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吸與質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個數(shù)量級。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場所,連接好檢漏用管路及壓力表,應(yīng)將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。HLD6000冷媒檢漏儀
可先用氮氣或其它惰性氣體將設(shè)備壓力提高, 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設(shè)備的內(nèi)壓增加至測試壓力且 應(yīng)使設(shè)備內(nèi)部至少含有10%-20%的氦氣含量。測漏壓力應(yīng)不高于設(shè)備設(shè)計壓力的2 5 %,但不低于0. 1 03MP。設(shè)備備保壓3 0分鐘后, 用掃描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距離焊縫表面不大于3 mm的范圍內(nèi)用吸qiang吮吸, 并應(yīng)從焊縫底部至上而行。HLD6000冷媒檢漏儀
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