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從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電子顯微鏡中，不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來成象，而且可以通過信號(hào)處理方法，獲得多種圖象的特殊顯示方法，還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的，它是分解為近百萬個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的，因而使得掃描電子顯微鏡除了觀察表面形貌外，還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到2μm。

在掃描電鏡中，入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個(gè)共同的掃描發(fā)生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步，保證了樣品上的“物點(diǎn)”與熒光屏上的“象點(diǎn)”在時(shí)間和空間上一一對(duì)應(yīng)，稱其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬個(gè)與物點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)的圖象單元構(gòu)成的，正因?yàn)槿绱?，植物組織電鏡檢測(cè)服務(wù)，才使得掃描電鏡除能顯示一般的形貌外，還能將樣品局部范圍內(nèi)的化學(xué)元素、光、電、磁等性質(zhì)的差異以二維圖象形式顯示。

電鏡鏡筒內(nèi)的電子束通道對(duì)真空度要求很高，電鏡工作必須保持在10-3～10Pa以上的真空度（的電鏡對(duì)真空度的要求更達(dá)10Pa以上），因?yàn)殓R筒中的殘留氣體分子如果與高速電子碰撞，就會(huì)產(chǎn)生電離放電和散射電子，從而引起電子束不穩(wěn)定，增加像差，污染樣品，并且殘留氣體將加速高熱燈絲的氧化，縮短燈絲壽命。獲得高真空是由各種真空泵來共同配合抽取的。機(jī)械泵（旋轉(zhuǎn)泵）機(jī)械泵因在其他場(chǎng)合使用非常廣泛而比較常見，它工作時(shí)是靠泵體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)葉輪刮片將空氣吸入、壓縮、排放到外界的。機(jī)械泵的抽氣速度每分鐘僅為160L左右 ，工作能力也只能達(dá)到0.1～0.01Pa，遠(yuǎn)不能滿足電鏡鏡筒對(duì)真空度的要求，所以機(jī)械泵只做為真空系統(tǒng)的前級(jí)泵來使用。

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