像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框,束斑可以看成是一個衍射波,中間呈類似高斯分布,只要半高寬和像素大致相等則視為匹配。而此時束斑的大小是大于像素的。
而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運動,只要不同像素點覆蓋區(qū)域的電子產額能夠被探測器有效處理和區(qū)分,那電鏡圖片也就能區(qū)分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細節(jié)的,而有點地方說掃描電鏡不能區(qū)分比束斑更小的說法是不夠嚴密的。束斑是單點像素1.3~2倍左右,都是匹配的條件。
透射電子顯微鏡的成像原理可分為三種情況:
吸收像:當電子射到質量、密度大的樣品時,主要的成相作用是散射作用。樣品上質量厚度大的地方對電子的散射角大,通過的電子較少,像的亮度較暗。早期的透射電子顯微鏡都是基于這種原理。
衍射像:電子束被樣品衍射后,樣品不同位置的衍射波振幅分布對應于樣品中晶體各部分不同的衍射能力,當出現晶體缺陷時,缺陷部分的衍射能力與完整區(qū)域不同,從而使衍射波的振幅分布不均勻,反映出晶體缺陷的分布。
相位像:當樣品薄至100?以下時,電子可以穿過樣品,波的振幅變化可以忽略,成像來自于相位的變化。
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