普發(fā)真空分子泵1200-普發(fā)真空分子泵-廣州潽拓光電公司

  我司從事機(jī)電自動(dòng)化，光電存儲(chǔ)媒體，半導(dǎo)體，醫(yī)liao，太陽能電池板，玻璃鍍膜，科學(xué)研究所等真空鍍膜設(shè)備維修，銷售，設(shè)計(jì)，開發(fā)及系統(tǒng)工程，軟件開發(fā)，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，Shimadzu等分子泵，真空泵，真空計(jì)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。

   這個(gè)特點(diǎn)，可用于安裝位置受限制的地方。 我公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè)，由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā)，普發(fā)真空分子泵保養(yǎng)，真空設(shè)備技術(shù)研發(fā)，維修工程師，工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力，充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。伴著嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膬?nèi)部項(xiàng)目實(shí)施管理，控制制流程，確保每一項(xiàng)真空設(shè)備的工藝技術(shù)性和質(zhì)量的優(yōu)佳性、可靠性。

渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)：

 (1)清潔，無油蒸汽返流 渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳?xì)浠衔?。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，普發(fā)真空分子泵80，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵

 (2)使用方便 在許多應(yīng)用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降到極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過渦輪分子泵進(jìn)行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時(shí)也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統(tǒng)所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內(nèi)工作）

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廣州潽拓——維修PFEIFFER DUO 3

雙級旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋轉(zhuǎn)式排量泵。泵系統(tǒng)包括一個(gè)殼 體 (1)、一個(gè)偏心地

安裝的轉(zhuǎn)子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動(dòng)的葉片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口閥（如配置）被設(shè)計(jì)為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀 態(tài)。

工作室 (5) 位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限 制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉

片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩 個(gè)獨(dú)立艙。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體流入擴(kuò)大的吸入

室直至其被 第二個(gè)葉片封住。封閉氣體然后進(jìn)行壓縮，直到出口閥沖破 大氣壓力

而開啟。出口閥是油封的。當(dāng)閥打開時(shí)，少量的油進(jìn)入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M(jìn)行

潤 滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開來。

旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮(zhèn)操作的情況下，一個(gè)孔向外側(cè)打開，讓氣體流入前側(cè) 的密封吸入室。因此，

在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達(dá)到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始

冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮(zhèn)達(dá)到的終壓力 高于無

氣鎮(zhèn)操作所達(dá)到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個(gè)任務(wù)要 執(zhí)行。它潤滑所有移動(dòng)

部件，填充出口閥下的固定空間以及 縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工

作室之間的間 隙，此外還通過熱傳遞確保溫度平衡。

多級泵

旋片式真空泵是內(nèi)置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實(shí)現(xiàn) 相對更低的極限壓力。

此外，氣鎮(zhèn)對極限壓力的影響較低， 因?yàn)闅怄?zhèn)僅允許在高壓力級使用。

真空安全閥

根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。 真空安全閥在有意或意

外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統(tǒng)進(jìn)行排氣，防止油液

上升到真空室 中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達(dá)到真空室中的近似壓 力，它

稍作延遲就打開。

潽拓光電——普發(fā)真空分子泵}普發(fā)分子泵     

普發(fā)Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵常見故障：

抽速慢

卡死

電流偏大

噪音大

達(dá)不到全速運(yùn)轉(zhuǎn)

 廣州潽拓光電德國普發(fā)Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵維修

      普發(fā)Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵維修照片：

      Pfeiffer Splitflow 310-3P德國普發(fā)分子泵是用在氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備上，Pfeiffer Splitflow 310-3P抽速可達(dá)到250 L/s，轉(zhuǎn)速為60000rpm，德國普發(fā)Splitflow 310-3P分子泵對應(yīng)的控制器為： Pfeiffer TC400。

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