SU8模具制備流程
1.后烘
將曝光后的硅片放置在熱板上,進(jìn)行后曝光烘烤,以確保光刻膠的交聯(lián)反應(yīng)完成。(舉例說(shuō)明:目標(biāo)膠厚度50um,設(shè)置溫度65℃,SU8模具加工設(shè)備報(bào)價(jià),烘烤7min,然后溫度95℃,烘烤3min)
2.顯影
將硅片放入顯影劑中,使未曝光部分的光刻膠溶解,形成模具的圖案。(顯影時(shí)間根據(jù)光刻膠厚度和顯影劑濃度進(jìn)行調(diào)整,此處顯影時(shí)間20min)
3.清洗
將顯影后的硅片用異丙chun溶劑進(jìn)行清洗,去除多余的光刻膠。
4.檢查
使用顯微鏡檢查制備的SU-8模具,測(cè)試觀察制備的微結(jié)構(gòu)尺寸,確認(rèn)圖案的清晰度和質(zhì)量。
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桌面光刻機(jī)
曝光光源:紫外LED光源波長(zhǎng):365nm;曝光面積:4英寸、6英寸可選;曝光方式:?jiǎn)蚊娼佑|式定時(shí)曝光;曝光分辨率:2um;曝光強(qiáng)度:20~200mW/cm2可調(diào);曝光不均勻性:≤5%;光源平行性:≤2°;光源壽命:≥20000h;電源輸入:AC220V±10V,SU8模具加工設(shè)備怎么樣,50HZ功率:250W重量:25kg外形尺寸:382(長(zhǎng))*371(寬)*435(高)工作環(huán)境:溫度0℃-40 ℃,金華SU8模具加工設(shè)備,相對(duì)濕度<80 %
熱板
溫度:0~300℃溫度穩(wěn)定性:±1℃功率:850W臺(tái)面大小:200x200mm
公司團(tuán)隊(duì)擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積累,持續(xù)將專(zhuān)ye知識(shí)與創(chuàng)新思維相結(jié)合,SU8模具加工設(shè)備公司,為客戶(hù)提供高品pin質(zhì)的解決方案。我們將始終堅(jiān)持以客戶(hù)為中心,不斷挑戰(zhàn)自我,不斷追求卓yue,通過(guò)專(zhuān)ye、創(chuàng)新和合作,為客戶(hù)創(chuàng)造更大的價(jià)值,共同kai創(chuàng)微流控領(lǐng)域的美好未來(lái)。
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