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由于掃描電子顯微鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來(lái)越受到科研人員的重視，用途日益廣泛。掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲(chóng)害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。 武漢科銳諾生物科技有限公司

電鏡鏡筒內(nèi)的電子束通道對(duì)真空度要求很高，電鏡工作必須保持在10-3～10Pa以上的真空度（的電鏡對(duì)真空度的要求更達(dá)10Pa以上），因?yàn)殓R筒中的殘留氣體分子如果與高速電子碰撞，就會(huì)產(chǎn)生電離放電和散射電子，從而引起電子束不穩(wěn)定，增加像差，污染樣品，并且殘留氣體將加速高熱燈絲的氧化，縮短燈絲壽命。獲得高真空是由各種真空泵來(lái)共同配合抽取的。機(jī)械泵（旋轉(zhuǎn)泵）機(jī)械泵因在其他場(chǎng)合使用非常廣泛而比較常見(jiàn)，它工作時(shí)是靠泵體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)葉輪刮片將空氣吸入、壓縮、排放到外界的。機(jī)械泵的抽氣速度每分鐘僅為160L左右 ，工作能力也只能達(dá)到0.1～0.01Pa，遠(yuǎn)不能滿足電鏡鏡筒對(duì)真空度的要求，所以機(jī)械泵只做為真空系統(tǒng)的前級(jí)泵來(lái)使用。

電子束穿過(guò)樣品時(shí)會(huì)攜帶有樣品的信息，TEM的成像設(shè)備使用這些信息來(lái)成像。投射透鏡將處于正確位置的電子波分布投射在觀察系統(tǒng)上。觀察到的圖像強(qiáng)度，I，在假定成像設(shè)備質(zhì)量很高的情況下，花粉透射電鏡技術(shù)服務(wù)，近似的與電子波函數(shù)的時(shí)間平均幅度成正比。若將從樣品射出的電子波函數(shù)表示為Ψ，則不同的成像方法試圖通過(guò)修改樣品射出的電子束的波函數(shù)來(lái)得到與樣品相關(guān)的信息。根據(jù)前面的等式，可以推出觀察到的圖像強(qiáng)度依賴于電子波的幅度，同時(shí)也依賴于電子波的相位。雖然在電子波幅度較低的時(shí)候相位的影響可以忽略不計(jì)，但是相位信息仍然非常重要。

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