石英加速度傳感器,主要利用壓電效應(yīng)進(jìn)行測(cè)量。其內(nèi)部通常包含一塊經(jīng)過特殊切割的石英晶體作為敏感元件。當(dāng)傳感器受到外部加速度作用時(shí),石英臺(tái)體因慣性會(huì)產(chǎn)生形變或應(yīng)力變化;由于石英晶體的壓電性質(zhì),這種形變會(huì)導(dǎo)致臺(tái)體內(nèi)產(chǎn)生電荷分布的改變進(jìn)而形成電信號(hào)輸出該信號(hào)的幅度與所受的加速度成正比因此通過測(cè)量這個(gè)輸出信號(hào)的大小就可以確定外界施加的加速度值此外為了提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性很多現(xiàn)代化的石英加速度計(jì)還會(huì)采用溫度補(bǔ)償和信號(hào)處理技術(shù)等手段來優(yōu)化測(cè)量結(jié)果并降低干擾因素的影響總的來說作為一種成熟可靠的傳感技術(shù)它已被廣泛應(yīng)用于航空、汽車工程振動(dòng)監(jiān)測(cè)等眾多領(lǐng)域之中為各種設(shè)備的性能評(píng)估和安全保障提供了重要支持
石英撓性加速度計(jì)精度是多少石英撓性加速度計(jì)的精度可以達(dá)到微伽級(jí)?。例如,傳統(tǒng)石英撓性加速度計(jì)的精度已達(dá)到微伽級(jí),較十二五期間水平提高了接近一個(gè)數(shù)量級(jí)?1。具體來說,改進(jìn)后的DCLA系統(tǒng)精度從65.49 μg提高到12.24 μg,與理論精度基本一致?2。此外,冷原子干涉加速度計(jì)的測(cè)量精度也達(dá)到了國(guó)際水平?。石英撓性加速度計(jì)以其的精度、穩(wěn)定性和環(huán)境適應(yīng)性,在慣性導(dǎo)航、航空航天、車輛動(dòng)態(tài)控制以及精密測(cè)量系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用?。這些特性使得石英撓性加速度計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。
石英撓性加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)主要由軛鐵、磁鋼、撓、力矩線圈和換能器等部分組成。? 軛鐵由溫度系數(shù)低、導(dǎo)磁性能好的軟磁材料制成,加速度傳感器,磁鋼采用導(dǎo)磁性能良好的AL-Ni-Co8永磁材料。撓通常由石英玻璃制成,具有良好的溫度性能,六軸加速度傳感器,通過超聲加工成型。力矩線圈和換能器將機(jī)械運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),再通過伺服放大器轉(zhuǎn)換為電流信號(hào),終產(chǎn)生反饋力或反饋力矩,三軸加速度傳感器價(jià)格,與輸入加速度引起的慣性力相平衡,直到恢復(fù)到平衡位置。?石英撓性加速度計(jì)的工作原理基于慣性質(zhì)量在外界加速度作用下的相對(duì)位置變化。當(dāng)有加速度輸入時(shí),由撓和力矩線圈組成的敏感質(zhì)量塊會(huì)發(fā)生偏移,導(dǎo)致差動(dòng)電容極板距離變化,進(jìn)而引起差動(dòng)電容量的變化。伺服放大器檢測(cè)到這一變化并輸出相應(yīng)的電流,送至位于磁場(chǎng)內(nèi)部的線圈上,產(chǎn)生與輸入加速度力矩相平衡的反饋力矩,使慣性質(zhì)量回到平衡位置。通過測(cè)量這一電流信號(hào),加速度傳感器售價(jià),可以計(jì)算出輸入加速度。
石英撓性加速度計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、精度和靈敏度高、可靠性高等特點(diǎn)。然而,其在高溫工作環(huán)境下的工作壽命和抗振動(dòng)能力可能會(huì)受到影響。為了增強(qiáng)其可靠性和壽命,通常采用金絲鍵合的方式連接IC芯片到封裝引腳,并采用多芯片模塊厚膜混合集成電路工藝以適應(yīng)高溫工作環(huán)境。
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