蒸發(fā)離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。結構緊湊,泵的轉數(shù)較高,一般可與電動機直聯(lián),無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,干式無油螺桿真空泵,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。
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