連接方式:
1)焊接。高純、高潔凈氣體管道,原則上采用焊接,但不能直接對(duì)焊,應(yīng)采用套管接頭。
a不銹鋼管的焊接:采用argon arc welding,同時(shí)管內(nèi)通入同等純度的Ar,防止焊接部位氧化。
b鋼管的焊接:采用40%銀焊條,氮?dú)獗Wo(hù)焊,管內(nèi)通入工藝氣體同等純度的氮?dú)?。但要注意,一旦氮?dú)庵袛嗷虻獨(dú)饧兌认陆?,?huì)在焊口附近生成銅的氧化物,產(chǎn)生浸潤表面的可能性。所以,當(dāng)銅管焊接完畢后,要用浸漬丙i酮的紗布來回擦拭管內(nèi),消除焊接處可能產(chǎn)生的氧化物。
2)螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接的好,氮?dú)夤艿纼r(jià)格,不適用于高純、高潔凈氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘?jiān)袔霘怏w的危險(xiǎn),而且內(nèi)外螺紋旋緊時(shí),氮?dú)夤艿缽S家,金屬間的摩擦?xí)a(chǎn)生金屬粉塵粒子,污染氣體。如確實(shí)必要,應(yīng)在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時(shí),在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊條,提高密封效果,盡可能減少金屬粉塵。
3)法蘭連接。螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氯i乙烯,為確保密封效果,在墊片上涂敷少量氟橡膠(白色、室溫固化)。
(3)管路附件的使用:
1)管路附件的材質(zhì)的選用原則應(yīng)與管材的選用原則一致。
2)在采用銅材的管路系統(tǒng)中,可以使用不銹鋼材質(zhì)的管道附件;但在不銹鋼材質(zhì)的管路系統(tǒng)中,不容使用銅制材料的管道附件。
高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU),為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求,氮?dú)夤艿滥睦镉?,在氣體出口指標(biāo)一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則,并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇,若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管,經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理,氮?dú)夤艿?,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下,其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體,如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管。
氣體管道工程是如何進(jìn)行分離的?
氣體管道工程在化工行業(yè)的使用范圍廣泛,大家都知道氣體管道給我們生活帶來的作用,那么氣體管道工程是如何進(jìn)行分離的呢?下面就來為大家介紹一下:
氣體管道工程
1、 按材料性質(zhì)分類:可分為金屬管道和非金屬管道。
2、按設(shè)計(jì)壓力分級(jí):管道工程輸送介質(zhì)的壓力范圍很廣,從真空負(fù)壓到數(shù)百兆帕。工業(yè)管道以設(shè)計(jì)壓力為主要參數(shù)進(jìn)行分級(jí),可分成真空管道、低壓管道、中壓管道、高壓管道和超高壓管道。
工業(yè)管道按壓力分級(jí) 級(jí)別名稱設(shè)計(jì)壓力P(MPai)級(jí)別名稱設(shè)計(jì)壓力P(MPa) 真空管道P0高壓管道10超高壓管道P100 中壓管道1.6。
3、按輸送溫度分類:工業(yè)管道輸送介質(zhì)的溫度差異很大,按介質(zhì)溫度可分為低溫管道、常溫管道、中溫和高溫管道。 工業(yè)管道按介質(zhì)溫度分類 類別名稱介質(zhì)工作溫度t(℃)類別名稱介質(zhì)工作溫度t(℃) 低溫管道t≤-40中溫管道120 常溫管道-40450。
4、按輸送介質(zhì)的性質(zhì)分類:給排水管道、壓縮空氣管道、氫氣管道、氧氣管道、乙i炔管道、熱力管道、燃?xì)夤艿?、燃油管道、劇i毒流體管道、有毒流體管道、酸堿管道、鍋爐管道、制冷管道、凈化 純氣管道、純水管道。
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