流量控制器的應(yīng)用中IST流量傳感器的作用
IST-AG通過(guò)特殊的薄膜工藝,將高精度加熱器,溫度傳感器或電堆封裝在單一芯片內(nèi),構(gòu)成流量測(cè)量的主要傳感單元(Figure 2) ,通過(guò)流量傳感器以響應(yīng)絕大多數(shù)流量測(cè)量場(chǎng)景,薄膜技術(shù)的應(yīng)用使得IST AG流量傳感器具有很好的結(jié)構(gòu)與性能優(yōu)勢(shì)。為此IST流量傳感器在MFC中的應(yīng)用工采網(wǎng)推薦瑞士IST 質(zhì)量流量傳感器 - FS5.0.1L.195的升級(jí)版IST-AG FS7流量傳感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一個(gè)熱質(zhì)流量傳感器,用于各種氣流應(yīng)用.熱質(zhì)流量傳感器使用熱傳遞原則,確定流體的流率.隨著流體通過(guò)傳感器,熱質(zhì)由傳感器傳遞到媒體.此關(guān)序取決于流動(dòng)速率.隨著流動(dòng)增加,熱量被傳遞.通過(guò)了解媒體的溫度,即可通過(guò)為保持恒定溫度差的電壓補(bǔ)償量得出流速。
而IST-AG FS7流量傳感器寬廣的測(cè)量范圍允許將傳感器直接置于被測(cè)氣路當(dāng)中,免去復(fù)雜的旁路設(shè)計(jì)。傳感器具有陶瓷基底與鈍化玻璃層進(jìn)行保護(hù),具有較佳的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
因此在終端應(yīng)用中,質(zhì)量流量控制器的可靠性多半是許多半導(dǎo)體工藝的基礎(chǔ)。MFC 的失準(zhǔn)或制造缺陷會(huì)導(dǎo)致晶圓產(chǎn)量下降,甚至?xí)p壞整個(gè)晶圓。采用IST流量傳感器則可以為MFC產(chǎn)品帶來(lái)如下優(yōu)勢(shì):
1、足夠?qū)挼臏y(cè)量范圍使得在許多場(chǎng)景中不必使用旁路,而進(jìn)行直接測(cè)量,提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。
2、薄膜技術(shù)帶來(lái)極高的響應(yīng)靈敏度,在一般測(cè)量狀態(tài)就可以瞬間響應(yīng)壓力浪涌。
3、小巧的體積與簡(jiǎn)單的安裝方式,給氣路結(jié)構(gòu)優(yōu)化創(chuàng)造更大的空間。
熱式氣體質(zhì)量流量控制器與流量計(jì)對(duì)安裝方向的要求
厚禮博生產(chǎn)的AC系列、DC系列以及BDD系列的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)能滿足市面上大多數(shù)用戶的使用需求,具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,響應(yīng)速度快,測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn),能直接測(cè)量和控制介質(zhì)的質(zhì)量流量,無(wú)須溫壓補(bǔ)償;設(shè)計(jì)、選型、安裝、使用方便簡(jiǎn)便,適合各類單一或混合氣體流量測(cè)量。
熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě),廣東流量計(jì)算器,即質(zhì)量流量控制器,是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM為Mass Flow Meter的縮寫(xiě),即質(zhì)量流量計(jì)是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置,流量計(jì)算器哪家好,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是用于測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的新型儀表??捎糜谑汀⒒?、鋼鐵、冶金、電力、輕工、環(huán)保等工業(yè)部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣體的監(jiān)測(cè)。
隨著生產(chǎn)技術(shù)的日益發(fā)展和進(jìn)步,本公司生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器與流量計(jì)在安裝的時(shí)候,對(duì)安裝方向已無(wú)特定要求,可任意方向位置安裝,如果用戶訂貨時(shí)注明安裝位置,我公司可依此標(biāo)定后出廠。
AC系列、DC系列、BDD系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品的正常工作壓力范圍可選:3MPa、5MPa、10Mpa,產(chǎn)品精度優(yōu)于±1%F.S,響應(yīng)速度優(yōu)于2秒且流量值穩(wěn)定速度也是極快的。閥體過(guò)流材質(zhì)均選用品質(zhì)良好的316L不銹鋼。供電方式為+15V—24V的寬頻供電,能滿足市面上絕大多數(shù)用戶的使用要求和使用習(xí)慣。DB9針的電氣接頭,也方便了用戶在使用時(shí)的拆裝。
流量控制器的作用
鋼包吹氬處理又稱剛液吹氬處理,是一種簡(jiǎn)易的鋼液脫氣和去除非金屬夾雜物的爐外精煉方法。這種方法工藝簡(jiǎn)單,設(shè)備便宜,精煉效果明顯。依據(jù)所需處理鋼液在常溫下的組織以及處理目的的不同,吹入鋼液的氣體,可以選用氬氣、氮?dú)?、水蒸氣、空氣,或先吹入氮?dú)?、水蒸氣、空氣,然后再吹入氬氣。鋼液吹氬處理有重要的冶金意義。
使用LF系列氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行鋼包吹氬的方式有兩種:一種鋼包底吹,流量計(jì)算器廠家,一種鋼包頂吹。鋼包吹氬受壓力的影響。吹氬壓力越大,攪動(dòng)力越大,氣泡上升越快。但吹氬壓力過(guò)大,氬氣流涉及范圍就越來(lái)越小,甚至形成連續(xù)氣泡柱,而且容易造成鋼包液面劇烈翻滾,鋼液大量露在與空氣接觸造成二次氧化和降溫。鋼渣相混,被擊碎乳化的爐渣入鋼水深處,使夾雜物含量增加。所以很大壓力以不沖破渣層露出液面為限。壓力過(guò)小,攪拌能力弱,吹氬時(shí)間延長(zhǎng),甚至造成透氣磚堵塞。
所以壓力過(guò)大過(guò)小都不好,流量計(jì)算器報(bào)價(jià),理想的吹氬壓力是使氮?dú)饬鞅椴颊麄€(gè)鋼包,氬氣泡在鋼液內(nèi)呈均勻分布。萊峰流體氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成,它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成,其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
能準(zhǔn)確可靠的測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量,測(cè)量和控制精度高、零飄小,測(cè)量和控制范圍寬,測(cè)量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響。不管是在鋼包底吹還是鋼包頂吹都能很好的控制氬氣均勻的注入,使鋼液在澆注前成分、溫度均勻,實(shí)現(xiàn)連鑄工藝正?;?,提高鋼材沖擊韌性等。
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