廣州潽拓光電科技有限公司——愛德華渦輪分子泵保養(yǎng)公司
Edwards STPA1603C英國愛德華磁懸浮分子泵維修
小巧而強(qiáng)大的Edwards STPA1603C渦輪分子泵采用Edwards的轉(zhuǎn)子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供極高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,滿足zui新一代半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間,愛德華渦輪分子泵保養(yǎng)公司,而其的沉積減少系統(tǒng)提高了可靠性和性能。STPA1603C已經(jīng)在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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Edwards STP-iXA2206C英國愛德華磁懸浮分子泵保養(yǎng),??Edwards STP 磁懸浮渦輪分子泵是優(yōu)選泵。
大多數(shù)Edwards STP磁懸浮渦輪分子泵型號均還提供鍍鎳涂層的內(nèi)部過流部件和氨氣吹掃設(shè)備的耐腐蝕型號,是化學(xué)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇。
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Edwards RV系列油封旋片泵功能,同時(shí)具備高真空和高吞吐量性能,低的噪音級別和的氣囊裝置,使其成為適用于應(yīng)用和環(huán)境的理想產(chǎn)品。這些泵的抽速范圍為3至12 m3/hr。Edwards RV12油封式旋片真空泵愛德華真空泵Edwards真空泵旋片泵油回轉(zhuǎn)高真空泵愛德華RV12油封式旋片真空泵Edwards真空泵。
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